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产品 名称

OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜（CSS）炉

产品型号

OTF-1200X-RTP-II

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备需选配自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC220V 50Hz（20A空气开关），必须有良好接地

3、气：设备腔室内需 充 注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接

头）

4、工作台：设备为落地式，占地面积1 m ² 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、 为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上 。

2 、 紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片（ Ø 76mm × 0.5mm），使得样品基片上的温度更加均匀 。

3 、 3 ″ 的石墨坩埚可放于底部加热元件上，用于盛放蒸发料 。

4、真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔内真空度可达10 ^-2 torr，通过分子泵真空度可达10 ^-5 torr。

5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。

6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可以精 确测量腔内真空度。

技术参数

1 、 电源：单相AC208 V -240V（需20A的空气开关）

2 、 真空腔体：高纯石英管，外径280mm，内径275mm，高229mm

3、加热元件：两组IR红外灯管，额定功率800W，总功率1600W

4、热电偶：S型热电偶2个，分别安装于上下法兰上

5、工作温度：两个加热区域单独工作的 极限 温度≤650℃，两加热区域 极限 温差≤350℃

6、加热速率：>8℃/s

7、冷却速率：>10℃/s（600℃-100℃）

8、真空法兰：316不锈钢制作，配有1个KF-25接口、2个1/4 ″ 软管接头

9、真空计：数字式真空显示计

可选配件

1、PC控温软件

2、两路混气系统

3、多路浮子混气系统

4、多路质子混气系统

5、真空泵

6、水冷机