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产品型号

 小型 1000 ℃ RTP 炉 OTF-1200X-4-RTP

  本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

  1、水：设备需配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

  2、电：AC220V 50Hz（35A空气开关），必须有良好接地

  3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头）

  4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

  5、通风装置：需要

主要特点

1 、 内炉膛表面涂有进口的高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率，同时可延长其使用寿 命。

  2 、 石英样品架固定在滑动法兰上， 使样品装载 更加 容易 。

  3 、样品架上 放置 76mm （ 3 " ） 的 AlN 基 片 ，承载 需要退火的样品 。 AIN 具有很高的热导率， 可使 样品放置的区

　　域有很好的温度均匀性 （ ± 5 ℃）。

  4 、 内插式热偶保证了温度的准确 性 。

  5 、 采用 PID 自动温度控制， 30 段程序 ，并设有 过热和断偶保护功能 及自整定功能 。

  6 、已通过 CE 认证。 所有电器元件（ >24V ）都通过了 UL/MET/CAS 认证。若用户自行承担 认证费用，本司保证

　　单台设备通过德国 TUV 认证和 CAS 认证。

  7 、可增加镀 SiC 的石墨坩埚改造成 RTE 炉（快速热蒸发炉）。

技术参数

1 、 电源： 208V-240V  AC ， 50Hz/60Hz 单相，zui大功率 9KW （ >60A 保险）

  2 、炉体结构：双层莫来石钢构 （不带水冷或风冷）

  3 、 石英管 ： 外径 Ø 110mm ，内径 Ø 103mm ，长 380mm

  4 、 样品架 ： 76mm

  5 、加热元件： 8 根红外灯管，灯丝长 2 00mm ， 丝圈 Ø 10mm ， 灯长 300mm

  6 、 恒温区 ： 102mm × 305mm ，均匀性± 5 ℃

  7 、 热偶：K 型热偶

  8 、温度：zui高温度 1100 ℃，额定温度 1000 ℃ （警告：在 1000 ℃ -1100 ℃下保温时间不超过 600s ，否则 O 型圈将被

　　　　　烧融）

   9 、控温精度：± 1 ℃

  10 、zui快升温速度： RT-800 ℃内 50 ℃ /s ， 800 ℃ -1000 ℃内 10 ℃ /s

  11 、zui快降温速度： 60 ℃ /min （在 200mtorr 下）， 117 ℃ /min （在一个大气压下）

  12 、真空度： 50mtorr （机械泵）， 10 ^-4 torr （分子泵）

  13 、 真空法兰 ： 带有 KF-D25 高真空不锈钢法兰 ， 配有 两个高温 O 型圈密封

  14、流量计：16ml/min-160ml/min

  15 、真空计： 数字真空计，测量范围 10mtorr-800torr （注意：此表在氮气下校准的，只有在 氮气和空气下表

　　　　　　上显示的实际压力，当通入任何其他气体时，必须参考说明书 中的相对气体对照表，否则后果会

　　　　　　严重）

  16 、水冷： 如要求通冷却水，请确定冷却水 流速3L/min 、 水温20 ℃ 、 水压25PSI （建议采用 循环水制冷器作为

　　　　　冷却系统）

产品规格

 尺寸： 760mm × 330mm × 530mm ； 重量： 45kg

标准配件

1

AIN 基片

1 片

2

石英样品架

1 个

3

石英管

1 根

4

石英挡板

4 片

KF-D25 快接

数字真空计

10

高温硅胶圈

6个

11

聚氨酯水管（外径Ø 12mm、内径 Ø 8mm）

1 根

14

4A保险

2个

  2、波纹管（KF-D25接口）（1m）

  3、KF-D25快接

  4、 防腐型数字式真空显示计 （测量范围 3.8 × 10 ^-5 torr-1125torr ，不需要因测量气体的种类不 同而进行系数转换）

  5 、 RS485串口和 控温软件

注意事项

1 、炉管内气压不可高于 0.02MPa 。

  2 、由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。（建议选购 本司的减压阀，量

　　程为 0.01MPa-0.1MPa ，更加精确安全）

  3 、当炉体温度高于 1000 ℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当， 保持在常压状态。

  4 、进入炉管的气体流量需小于 200SCCM ，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。

  5 、石英管的长时间使用温度 <1100 ℃。

  6 、对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对 样品加热，则需时

　　刻关注压力表的示数。若气压表示数大于 0.02MPa ，必须立即打开泄气 阀，以防意外发生（如炉管破

　　裂、法兰飞出等）。