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详细介绍
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产品型号 |
4 ″ 高真空 RTP 炉 OTF-1200X-4-RTP-HV |
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主要特点 |
1 、石英样品架固定在滑动法兰上, 使样品装载更加容易。 2 、 样品架上放置 76mm 的 AlN 基 片,承载需要退火的样品 。 AIN 具有很高的热导率,可使样品 放置的区域有很 好的温度均匀 性( ± 5 ℃)。 3 、 内插式热偶保证了温度的准确性 。 4 、采用 PID 自动温度控制, 30 段程序,并设有过热和断偶保护功能。 5 、已通过 CE 认证。 |
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技术参数 |
1 、 电 源:炉体单相 208-240V , 50/60Hz , 10KW ;高真空系统 AC110V/220V 任意切换, 50/60Hz , 110W 2 、炉体结构:双层莫来石钢构 3 、石英管: 外径 Φ 110mm ,内径 Φ 103mm ,长 380mm 4 、样品架: 76mm 5 、加热元件: 8 根红外灯管,灯丝长 200mm ,丝圈 Φ 10mm ,灯长 300mm 6 、 加热区 : 102mm × 305mm ,均匀性± 5 ℃ 7 、热偶: K 型热偶 8 、温度:zui高温度 1100 ℃,额定温度 1000 ℃,在 1000-1100 ℃下保温时间不得超过 600s 9 、控温精度:± 0.5 ℃ 10 、zui快升温速度: RT-800 ℃内 50 ℃ /s , 800-1000 ℃内 10 ℃ /s 11 、高真空系统气动时间: 2min 12 、真空度: 6.3 × 10 -5 mbar (在 40min 中) 13 、 真空法兰: KF-D25 , 配有两个高温 O 型圈密封 14 、流量计: 16-160ml/min 15 、前级泵流速:在 10mbar 状态下 3.8L/min , 50Hz ; 4.4L/min , 60Hz |
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产品规格 |
炉体:尺寸 760mm × 330mm × 530mm , 重量 50kg 高真空系统:尺寸: 600mm × 600mm × 700mm ,重量 18kg |
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