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产品型号

25KW 程序控温感应熔炼炉 SP-25TC

主要特点

1 、 配有可耐 1800 ℃的高纯氧化铝纤维制作的耐火砖，用于支撑石墨坩埚，并防止热量辐射。

    2 、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。

    3 、温控器采用 PID 方式控温，可设置 30 段升降温程序，设有过热和断偶保护功能。

    4 、配有防腐型真空计，当气压在 10mbar 以上时，不需因测量气体种类的不同进行系数转换，量程可

           到 3.8 × 10E-5  torr 。

    5 、配有双旋直连式机械泵 。

技术参数

高频感应加热炉

    1 、工作电压： 三相 AC 380 V  50Hz （需 60 A 空气开关）

    2 、 zui大输入功率： 15KW

    3 、振荡频率： 30KHz-80 KHz

    4 、循环比： 80%

    5 、感应线圈：外径 Φ 120mm ，内径 Φ 110 mm ，高 50 mm （可微调）

温度控制器

    1 、工作电压： AC208V-240V 单相

    2 、控温精度：± 5 ℃

    3 、 温度：连续工作温度 1000 ℃ -2000 ℃，zui高工作温度 1700 ℃（工作时间 <30min ）

    4 、zui大升温速率： 1 ℃ /s （ 0-1000 ℃）、 0.5 ℃ /s （ 1200 ℃ -1700 ℃）

石墨坩埚（易耗件）

    1 、高纯石墨坩埚： 外径 Φ 40mm ， 内径 Φ 37.1mm ，高 100.5mm （可选购 SiC 涂层，涂在坩埚内部，以

                                     提高金属熔炼 时的洁净度）

    2 、zui大容量：样品所占容积应为石墨坩埚容积的 1/2

石英管和密封法兰

    1 、石英管：外径 Φ 100mm ，内径 Φ 92mm ，长 355mm

    2 、顶部法兰：不锈钢法兰，装有不锈钢针阀，设有 1 个 铠装接口（可插入热电偶至石英管内部，更

                              准确地测量样品 温度）

    3 、底部法兰：设有不锈钢针阀和 KF25 接口（可通过波纹管与真空泵相连接）

水冷机

    1 、温度： 5 ℃ -30 ℃

    2 、水流速： 16L/min

    3 、水箱容积： 12L ，采用不锈钢制作

  （建议使用特定的冷却剂液以达到*的冷却效果）

真空泵

    1 、工作电压： AC208V-240V 单相

    2 、抽气速率： 120L/min

    3 、极限真空度： 10 ^-2 torr

  （为了获得更高的真空度以达到更好的熔炼效果，可选购涡旋分子泵，真空度可达 10E-5torr ）

注意事项

操作前，必须仔细阅读说明书，且操作人员需带防护面罩。使用时，熔炼必须在 ≤ 0.02Mpa 的流动

   氩气下进行，流量小于 200ml/min ，需始终保持石英管内的气压 <0.02MPa 。升温过程中需时刻注意石

   英管内的气压，若气压超过安全值，会引起石英管开裂、法兰蹦出，甚至造成人身伤害。

其他事项

本机可改为 RTP （快速热处理炉）和混合物物理化学气相沉积（ HPCVD ）系统。请参看下图。